FESTKÖRPERPHYSIK GERÄTE

Autor: BENMESSAOUD ALI.
Jahr: 2001.
Universität: AUTÓNOMA DE BARCELONA [www.uab.es].
Ort der Lesung: CENTRO NACIONAL DE MICROELECTRÓNICA.
Ort der Vorbereitung: ESCUELA DE DOCTORADO Y DE FORMACIÓN CONTINUADA.

Inhaltsangabe: Es hat sich für die technische PECVD zu erhalten Einlagen subóxido Silizium, SiOx, Dicke in der Größenordnung von µ m, substratros Si zwei Zoll. Wir haben Einlagen bei contenildos Sauerstoff zwischen 1,3 und 2,0, und eine Reihe von refraktiven Indizes zwischen 1,96 (in der Nähe Si2N4) und 1,46 (SiO2). Die Struktur (insbesondere die Porosität), Spannung und Homogenität der Schichten sind besser desto niedriger ist der Sauerstoff. Darüber hinaus ist die Schichten enthalten Überschwemmungen Verunreinigungen in Form von Links Si - H, NH, Si - OH und H2O. Der Inhalt von Verunreinigungen schwankt schrittweise von Schichten pobles Sauerstoff mit einer Menge von Verbindungen Si - Hy NH, und Null Inhalt Si - OH H2O, und Schichten des Oxids Struktur nächsten estequiométrico mit Null Inhalt Links Si - Hy NH, und der hohen Gehalt an Si - OH und H2O. Er hat untersucht, die Bedingungen für die Temperatur, Druck und Macht der Prozesse der Einlage, für die Verbesserung der Qualität der Schichten Überschwemmungen. Erhöhung der Temperatur der Hinterlegung (bis 350Â ° C) und Leistung (bis zu 50 W, begrenzt durch den Rückgang der Homogenität), reduziert den Inhalt der Verunreinigungen in den Schichten, aber die schrittweise Erhöhung der Spannungen mit dem Aufstieg der Inhalt von Sauerstoff Schichten , Darauf hingewiesen, dass die Einlagen wachsen Minderjährige valroes Temperatur und Kraft in den Erhalt Schichten reich an Sauerstoff. Im Hinblick auf den Druck, niedrige Werte (100 Mio. Torr), unterstützt die Reduktion von Verunreinigungen, sondern die Erhöhung der Strukturwandel in den erhöhten Druck (bis zu 300 m Torr), hemmt die Unterbringung von Verunreinigungen im sauerstoffreichen Schichten, so dass Dass die Qualität der Inhalte verbessert werden Verfahren zu einer Erhöhung des Drucks, wie sie wachsen Schichten mit einer berechenbaren höheren Gehalt an Si - OH und H2O. Verbesserung der Bedingungen für die Hinterlegung nicht lösen zwei grundlegende Probleme, auf der einen Seite, die nicht in der Lage gewesen, um Verunreinigungen zu entfernen oder Spannung der Schichten und auf der anderen Seite, die sauerstoffreichen Schichten instabil sind im Vergleich zu den Feuchtigkeit. Die Studie über die Wirkung von Feuchtigkeit und die anschließenden Bemühungen um eine Stabilisierung der Schichten, die Durchführung einer thermischen Glühen bei einer Temperatur unter 350Â ° C, sind die Ergebnisse paraciales, mit den Auswirkungen reversibel. Als Lösung wurde vorgeschlagen, die Durchführung einer raschen thermischen Glühen bei hohen Temperaturen (950Â ° C) der Schichten. Die Schichten sind estructuralemente kompakt behandelt und unempfindlich gegen die Außenpolitik der Feuchtigkeit, nicht enthalten erhebliche Mengen von Verunreinigungen, mit Ausnahme niedrig Links Si - H Umgebungen O3 - SiH Außerdem ist die Höhe der Spannung verschwindet in den reichen Schichten Wenn und allmählich steigt mit der Sauerstoff, zu einer 50% niedriger als in den Schichten abgelagert ohne anschließende Behandlung. Der Brechungsindex wird auf das Intervall 2.32-2.00.

Autor: AMIROLA SANZ JORGE.
Jahr: 2004.
Universität: POLITÉCNICA DE CATALUÑA [www.upc.edu].
Ort der Lesung: aula de telensenyament, edifici B3, campus nord.
Ort der Vorbereitung: C4 Despatx Direcció nord.

Inhaltsangabe: In der letzten Zeit hat sich das Konzept der Micro - Electro - Mecánicos (MEMS). Solche Systeme können eine Lösung für viele Probleme der Größe (Miniaturisierung), Konsum, etc., aber wiederum sind eine große Quelle für neue Lösungen und Anwendungen. Unter den vielseitigsten Strukturen in der Welt von MEMS sind voladizos (oder Auskragungen) und Brücken ausgesetzt. Solche Strukturen haben sich als sehr nützlich für eine Vielzahl von Anwendungen, sowie Sensoren und Handeln. Die Arbeit, die in dieser Arbeit sind entworfen und hergestellt verschiedene Arten Kragarmkonstruktionen und Brücke über Fertigungsverfahren entwickelt, der speziell für diese Arbeit. Einer der Bereiche, in denen sie entwickelt haben mehr Anstrengungen, da die Entstehung solcher Strukturen ist die Reichweite von Gas, so dass in dieser Arbeit, die wir haben gezeigt, die den Betrieb von Geräten für diese Anwendung hergestellt. Es werden zunächst eine Studie über den Stand der Kunst aus der Sicht der Struktur selbst, wie Gassensoren im Allgemeinen. Nachfolgend finden Sie einen Überblick über die theoretischen Grundlagen, die dem Verhalten von Elektro Geräte, die zur Herstellung. Diese sind sowohl Auskragungen resonanten und nicht resonanten Sensoren, wenn das Gas werden auf der Grundlage ihrer funcionalización durch eine Polymerbeschichtung und Kleinschreibung. Die frühzeitige Erkennung vorgeschlagen werden: Änderung in der Resonanzfrequenz durch Absorption (resonante Geräte, elektrostatische Erkennung) und der Ablenkung durch die Belastungen, die durch unterschiedliche Oberfläche Absorption (Non resonante elektrostatische Erkennung (Variation der Kapazität) oder piezoresistiva). Es präsentiert eine Studie durch theoretische Simulationen der Leistung dieser Geräte im Hinblick auf dimensionarlos korrekt zum Zeitpunkt der Herstellung. Wir präsentieren eine neue Methode für die Auskragungen resonante Anregung auf der Grundlage elektromechanischen Kopplung, die es uns ermöglichen, eine gute Ebenen des Signals von Geräten mit geringer Qualität Faktor. In dem Kapitel widmet sich der Herstellung werden die verschiedenen Prozesse in dieser Arbeit. Die großen Unterschiede in allen von ihnen liegen in der Art der micromecanización Beschäftigten (Volumen oder Oberfläche), die Art, die in der Erkennung Gerät (elektrostatische oder piezoresistiva), und die Art der Wafer, die in ihrer Herstellung (normale Angriff von Arbeitslosigkeit oder elektrochemische BESOI ). Es beschreibt im Detail alle Prozesse und der Entwicklung. Im Folgenden finden Sie die Techniken der Messung Vorschläge für die Anwendung von Gas Sensoren und Charakterisierung von Geräten hergestellt werden. Es beschreibt dann die Messung System als die Hinterlegung System Polymer entwickelt in dieser Arbeit. Im Folgenden sind die Maßnahmen, die so auf Gas als relative Feuchte, sowie die Ergebnisse und deren Analyse. Die Grenzen der Erkennung erhalten, sowie Reaktionszeiten und ihre Linearität, sind in den aktuellen Stand der Technik in Bezug auf die Art der gemessenen Gase, die zur Messung von Konzentrationen deutlich unter dem Niveau gefährlich für die Gesundheit. Schließlich, es enthält die Ergebnisse der Dissertation sowie eine künftige Linie der Arbeit zur Verbesserung der Ergebnisse. Die Wege der Untersuchung wäre die bedeutendste der Beseitigung der Drift der Maßnahme Temperatur durch Diebstahl oder Aufnahme eines Verweises Freischwinger, und die Durchführung von Arrays von Auskragungen zu erkennen Gasgemische.