DISPOSITIFS À L'ÉTAT SOLIDE

Auteur: BENMESSAOUD ALI.
Année: 2001.
Université: AUTÓNOMA DE BARCELONA [www.uab.es].
Lieu de l'exposition: CENTRO NACIONAL DE MICROELECTRÓNICA.
Lieu de préparation: ESCUELA DE DOCTORADO Y DE FORMACIÓN CONTINUADA.

Résumé: Il a choisi la technique PECVD pour obtenir des dépôts subóxido silicium, SiOx, de l'épaisseur de l'ordre de microns, substratros Si deux pouces. Nous avons fait des dépôts auprès contenildos oxygène entre 1,3 et 2,0, et une série d'indices de réfraction entre 1,96 (à côté de Si2N4) et 1.46 (SiO2). La structure (en particulier, la porosité), et la tension uniformité des couches inférieures sont mieux la teneur en oxygène. En outre, les couches contiennent des impuretés des inondations, sous la forme de liens Si - H, NH, Si - OH et H2O. Le contenu des impuretés varie graduellement de couches pobles d'oxygène avec beaucoup de liens Si - Hy NH, et zéro contenu Si - OH H2O, et des couches de la structure de l'oxyde prochaine estequiométrico vides liens Si - Hy NH, et à haute teneur de Si - OH et H2O. Il a enquêté sur les conditions de température, de pression et de la puissance des processus de dépôt, d'amélioration de la qualité des couches les inondations. L'augmentation de la température de dépôt (jusqu'à 350Â ° C) et d'électricité (jusqu'à 50 W, limitée par la baisse de l'homogénéité), réduit la teneur en impuretés dans les couches, mais l'augmentation progressive de la tension avec la montée de la teneur en oxygène des couches , A indiqué que les dépôts de croître mineurs valroes température et le pouvoir d'obtenir des couches riches en oxygène. En ce qui concerne la pression, de faibles valeurs (100 mètres Torr), favorisant la réduction des impuretés, mais l'augmentation de la structure impliqués dans l'augmentation de la pression (jusqu'à 300 mètres Torr), fait obstacle à l'hébergement d'impuretés dans les couches riches en oxygène, de sorte Que la qualité des dépôts sera renforcée procédure à l'augmentation de la pression dans les couches qui grandissent avec une teneur plus élevée prévisible de Si - OH et H2O. Améliorer les conditions de dépôt ne permettent pas de résoudre deux problèmes fondamentaux, d'une part, n'ont pas été en mesure d'éliminer les impuretés ou de la tension des couches et de l'autre, les couches riches en oxygène est instable par rapport à l'humidité. L'étude de l'action de l'humidité et les efforts visant à stabiliser les couches, de procéder à un recuit thermique à une température inférieure à 350Â ° C, les résultats sont paraciales, avec les effets réversibles. Comme une solution a été proposé de procéder à un recuit thermique rapide à haute température (950Â ° C), des couches. Les couches sont estructuralemente compacte traitée et insensibles à l'action extérieure de l'humidité, ne pas contenir des quantités significatives d'impuretés, à l'exception de faibles liens Si - H environnements O3 - SiH outre, le niveau de tension disparaît dans le cas des couches riches et augmente progressivement avec le La teneur en oxygène, devenant 50% plus bas que dans les couches déposées sans traitement ultérieur. L'indice de réfraction est étendue à l'intervalle 2.32-2.00.

Auteur: AMIROLA SANZ JORGE.
Année: 2004.
Université: POLITÉCNICA DE CATALUÑA [www.upc.edu].
Lieu de l'exposition: aula de telensenyament, edifici B3, campus nord.
Lieu de préparation: C4 Despatx Direcció nord.

Résumé: Au cours de la période récente est apparue la notion de Systèmes Micro Electro - Mecánicos (MEMS). De tels systèmes peuvent apporter une solution à de nombreux problèmes de taille (miniaturisation), la consommation, etc, mais à leur tour, sont une énorme source de nouvelles solutions et d'applications. Parmi les plus polyvalents structures dans le monde des MEMS sont voladizos (ou consoles) et les ponts suspendus. Ces structures se sont avérés très utiles pour un grand nombre d'applications, ainsi que de détection et d'action. Le travail réalisé dans cette thèse sont conçus et fabriqués Cantilever différents types de structures et de combler grâce à des procédés de fabrication mis au point spécialement pour ce travail. L'un des domaines dans lesquels ils ont mis au point plus d'efforts depuis l'émergence de ces structures est la détection de gaz, de façon à ce travail, nous avons démontré le fonctionnement des engins fabriqués pour cette application. Tout d'abord, elle présente une étude de l'état de l'art du point de vue de la structure elle-même, comme les capteurs de gaz en général. Vous trouverez ci-dessous un aperçu des fondements théoriques qui sous-tendent le comportement des dispositifs électromécaniques qui envisagent de produire. Ce sont deux consoles résonnante et non résonnante de détection où le gaz sera fondé sur les travaux de sa funcionalización par l'intermédiaire d'un enduit de polymère sensibles. La détection précoce proposé sont les suivants: changement de la fréquence de résonance due à l'absorption (résonnante dispositifs électrostatiques détection) et de la déformation due au stress induit par la surface d'absorption différentielle (Non détection résonante électrostatiques (variation de capacité) ou piezoresistiva). Il présente une étude réalisée par des simulations théoriques de la performance de ces dispositifs afin de dimensionarlos correctement au moment de la fabrication. Nous présentons une nouvelle méthode pour consoles excitation repose sur le couplage électromécanique, qui nous permettra d'atteindre de bons niveaux de signal de dispositifs à faible facteur de qualité. Dans le chapitre consacré à la fabrication présente les différents procédés mis au point dans ce travail. Les principales différences dans chacun d'entre eux se trouvent dans le type de micromecanización employés (volume ou de surface), du type utilisé dans le dispositif de détection (électrostatique ou piezoresistiva), et le type de plaques utilisées pour leur fabrication (normal de l'attaque par le chômage ou électrochimique BESOI ). Il décrit en détail tous les processus et le développement de celle-ci. Voici les techniques de mesure des propositions pour l'application de détection de gaz et la caractérisation des dispositifs fabriqués. Il décrit ensuite le système de mesure utilisé comme système de dépôt de polymère développé dans ce travail. Le tableau ci-après résume les mesures prises afin de gaz que l'humidité relative, ainsi que les résultats et leur analyse. Les limites de détection obtenues, ainsi que les temps de réponse et sa linéarité, se trouvent à l'état actuel de la technique pour le type de gaz mesurée, conduisant à mesurer les concentrations bien en dessous des niveaux dangereux pour la santé. Enfin, il présente les conclusions de la thèse ainsi que d'une future ligne de travail pour améliorer les résultats. Les moyens d'enquête serait la plus notable de l'élimination de la dérive de la mesure de température à travers le vol ou l'inclusion d'une référence Cantilever, et la mise en œuvre des tableaux de consoles pour détecter les mélanges de gaz.